ห้องสะอาดสามประเภท

1. แบบฟอร์มนี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในการออกแบบเวิร์กช็อปห้องคลีนรูมขนาดเล็กและคุณภาพต่ำ สำหรับพื้นที่ขนาดใหญ่ของโรงปฏิบัติงานทำความสะอาดคุณภาพสูง ต้นทุนการดำเนินงานสูงเกินไปพื้นที่มีขนาดใหญ่เกินไปและมีข้อบกพร่องอื่นๆ

2.การออกแบบแบบฟอร์มสามารถตอบสนองความต้องการของพื้นที่ขนาดใหญ่และการประชุมเชิงปฏิบัติการไร้ฝุ่นของการผลิตวงจรรวมในระดับสูง แต่ต้นทุนการดำเนินงานสูง และความเร็วลมและปริมาณอากาศของห้องสะอาดนั้นปรับได้ยาก และ ระบบเป็นเรื่องยากที่จะอัพเกรดและแปลง ดังนั้นความยืดหยุ่นในการทำงานจึงไม่สูงนัก

3.ระบบหมุนเวียนหัวไม่เพียงแต่ช่วยประหยัดพื้นที่การทำงาน ความสะอาด ความปลอดภัยสูง ต้นทุนการดำเนินงานต่ำ และความยืดหยุ่นในการดำเนินงานสูง สามารถอยู่ได้ไม่ส่งผลกระทบต่อสถานการณ์การผลิตได้ตลอดเวลาสำหรับการอัพเกรดและปรับแต่งระบบ สามารถตอบสนองความต้องการของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ได้เป็นอย่างดี ดังนั้นในระบบการไหลเวียนของหัวการผลิตเซมิคอนดักเตอร์จึงค่อยๆกลายเป็นแผนการออกแบบการทำให้บริสุทธิ์หลัก